低温三维磁场探针台

三维磁场探针台

产品概述：

    北京锦正茂科技有限公司提供的一维 、二维 、三维磁场探针台，采用无磁材料制成，一维 、二维 、三维三对亥姆霍兹线圈正交放置，产生空间一维 、二维 、三维磁场。线圈可采用风冷（磁场较小）也可采用水冷结构（磁场较大），并且配备有线圈过热保护装置。和锦正茂生产的高精度双极性直流电源配合使用可以长时间稳定工作。通过软件或者电源控制面板上按键控制每一维上的输出电流，可以产生空间任意方向的矢量磁场。探针台配备有可移动样品台，可以实现水平方向二维移动和样品台360度转动，便于样品的安装和测试。探针台具有四个高精度探针臂，同时配有高精度电子显微镜，便于微小样品的观察操作。探针可通过直流或者低频交流信号，用来测试芯片、晶圆片、封装器件等。

应用范围：

广泛应用于半导体工业、MEMS 、超导、电子学、铁电子学、物理学、材料学和生物医学等领域。三维探针台和锦正茂自主研发的高精度双极性电源相匹配，通过真正的双极性电源输出，实现了空间任意方向上的矢量场合成。

三维磁场探针台

技术指标：

参数概述：

可以进行真空环境中的高低温测试（10K~325K）。磁场强度在x轴上为0.75T，在Y轴上为0.75 T，在z轴上为0.4T。

磁场均匀性：中心区域60mm球体内为1%。

三种高精度直流电源：稳定性±25ppm

磁场分辨率：0.05 MT

角度分辨率：0.02°

样品固定方式：低温探头

样品台直径：20mm，可定制

显微镜：10.Y平面2*2英寸，精度2μm，Z轴行程≥30.8mm，

放大倍数：16~100x/20~4000x

探针臂数量：4个。可选择的

探针臂行程：12mm，可更换

探针臂移动精度：25μM可选

探头长度：38mm

探头直径：0.51mm

针尖直径：1μm

探头材料：钨/铍铜/GGB

泄漏精度：100fa低温防辐射屏设计，样品台采用高纯度无氧铜，温度均匀性较好。

温度传感器采用稳定性和重复性好的硅二极管作为温度测量装置，支持光纤光谱特性测试，与高倍率显示镜兼容，可以微调和移动，设备的高频特性（支持高达40GHz的频率），探针散热器设计，LD/LED/PD光强/波长测试、自动流量控制、材料/器件的IV/CV特性测试等。