高低温真空磁场探针台
高低温真空磁场探针台是具备提供高低温、真空以及磁场环境的高精度实验台，它的诸多设计都是专用的。因此，高低温磁场探针台的配置主要是根据用户的需求进行选配及设计。例如，要求的磁场值，均匀区大小、均匀度大小、样品台的尺寸等，均于磁力线在一定区域内产生的磁通密度相关联；位移台还可与磁流体密封搭配，实现水平方向二维移动和样品台360度转动；除此之外，该探针台和我司自主研发的高精度双极性恒流电源搭配使用户，可以磁场的高稳定性。因此，该类型的探针台主要依据客户的使用情况进行设计优化。
探针台配备4个（6个、8个）拥有高精度位移的探针臂，同时配有高精度电子显微镜，便于微小样品的观察操作。探针可通过直流或者低频交流信号，用来测试芯片、晶圆片、封装器件等，广泛应用于半导体工业、MEMS 、超导、电子学、铁电子学、物理学、材料学和生物医学等领域。
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高低温真空磁场探针台
产品概述：
高低温真空磁场探针台是具备提供高低温、真空以及磁场环境的高精度实验台，它的诸多设计都是专用的。因此，高低温磁场探针台的配置主要是根据用户的需求进行选配及设计。例如，要求的磁场值，均匀区大小、均匀度大小、样品台的尺寸等，均于磁力线在一定区域内产生的磁通密度相关联；位移台还可与磁流体密封搭配，实现水平方向二维移动和样品台360度转动；除此之外，该探针台和我司自主研发的高精度双极性恒流电源搭配使用户，可以磁场的高稳定性。因此，该类型的探针台主要依据客户的使用情况进行设计优化。
探针台配备4个（6个、8个）拥有高精度位移的探针臂，同时配有高精度电子显微镜，便于微小样品的观察操作。探针可通过直流或者低频交流信号，用来测试芯片、晶圆片、封装器件等，广泛应用于半导体工业、MEMS 、超导、电子学、铁电子学、物理学、材料学和生物医学等领域。
高低温真空磁场探针台：
技术指标：
高低温真空磁场探针台
型号
T8-EM4
T8-EM5
T8-EM7
真空度
高达10-8Pa
腔体材质
无磁不锈钢或者铝合金
磁场范围
2000Gs @50mm
5000Gs@50mm
1T@50mm
磁场方向
水平（可按用户要求设计成竖直方向的）
配套电源
双极性电源±50A
双极性电源±70A
双极性电源±90A
电源稳定性
50ppm（可选10ppm）
制冷方式
液氦/液氮制冷/闭循环制冷机
温度范围
5K-325K可选500K
控温分辨率
0.001K控温仪相关
温度稳定性
优于0.1K依赖于控温仪
温度传感器
硅二极管/PT100/CernoxTM
传感器数量
样品台、防辐射屏、探针臂各一个
样品台尺寸（max）
Φ50mm，平整度≤7μm
样品台固定方式
真空硅脂/弹簧压片
样品台材质
镀金无氧铜
显微镜行程
X、Y平面2*2inch，精度1μm，Z轴行程≥50.8mm
放大倍数
16~100X/20~4000X
真空腔观察窗尺寸
1inch
1.5inch
2inch
窗口材料
熔融石英（可选K9、氟化钙等）
探针臂数量
2、4、6、8可选
探针臂行程
(X-Y-Z)25mm-25mm-12mm可更换
位移精度
10μm /2μm/1μm/0.7μm可选
接口形式
普通真空接头/三同轴接头/BNC/SMA等
探针直径
0.51mm
针尖直径
10μm/5μm/1μm可选
探针材料
钨/GGB
供电电压
AC220V 50Hz/60Hz
AC380V 50Hz/60Hz
选型注意事项：
※最大需要测几inch的晶圆或者器件！是否需要测试破片或者单颗芯片！最小的单颗芯片尺寸！
※探针台机械精度要求多高！
※点测样品的电极尺寸！100μm *100μm或60μm *60μm的pad，还是FIB制作的mini pad，或者ic内部的metal线路！
※最多需要几个探针同时去点测！
※是否会用到探针卡测试！
※光学显微镜的最小分辨率需要用到多少！
※显微镜方面，是否需要添加偏光片做LC液晶热点侦测！
※探针点测时，对电流的要求是否达到100fa或者以下！低
电容要求是否要做到0.1pf！是否有射频需求！
※接驳的测试仪器接口有哪些！
※测试环境时是否会需要加热或者降温！ 是否需要密闭腔体！
※对chuck的漏电要求怎样！是否需要添加低阻抗chuck！
※是否需要防震桌！
※若添置防震桌，是否有压缩空气！
